X'inhuma l-gassijiet tal-inċiżjoni użati b'mod komuni fl-inċiżjoni niexfa?

It-teknoloġija tal-inċiżjoni niexfa hija waħda mill-proċessi ewlenin. Il-gass tal-inċiżjoni niexfa huwa materjal ewlieni fil-manifattura tas-semikondutturi u sors importanti tal-gass għall-inċiżjoni tal-plażma. Il-prestazzjoni tagħha taffettwa direttament il-kwalità u l-prestazzjoni tal-prodott finali. Dan l-artikolu jaqsam prinċipalment x'inhuma l-gassijiet tal-inċiżjoni użati b'mod komuni fil-proċess ta 'inċiżjoni xotta.

Gassijiet ibbażati fuq il-fluworin: bħalTetrafluworidu tal-karbonju (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) u perfluoropropane (C3F8). Dawn il-gassijiet jistgħu effettivament jiġġeneraw fluworidi volatili meta jinxtamm is-silikon u l-komposti tas-silikon, u b'hekk jiksbu tneħħija ta 'materjal.

Gassijiet ibbażati fuq il-klorin: bħal klorin (CL2),Boron Trichloride (BCL3)u s-silikon tetrachloride (SiCL4). Gassijiet ibbażati fuq il-klorin jistgħu jipprovdu joni tal-klorur matul il-proċess ta 'inċiżjoni, li jgħin biex itejjeb ir-rata ta' inċiżjoni u s-selettività.

Gassijiet ibbażati fuq il-bromu: bħal Bromine (BR2) u Bromine JoDide (IBR). Gassijiet ibbażati fuq il-bromu jistgħu jipprovdu prestazzjoni ta 'inċiżjoni aħjar f'ċerti proċessi ta' inċiżjoni, speċjalment meta inċiżjoni materjali iebsa bħal karbur tas-silikon.

Gassijiet ibbażati fuq in-nitroġenu u bbażati fuq l-ossiġnu: bħal trifluworidu tan-nitroġenu (NF3) u ossiġenu (O2). Dawn il-gassijiet ġeneralment jintużaw biex jaġġustaw il-kundizzjonijiet ta 'reazzjoni fil-proċess ta' inċiżjoni biex itejbu s-selettività u d-direzzjonalità tal-inċiżjoni.

Dawn il-gassijiet jiksbu inċiżjoni preċiża tal-wiċċ tal-materjal permezz ta 'taħlita ta' sputtering fiżiku u reazzjonijiet kimiċi waqt inċiżjoni fil-plażma. L-għażla tal-gass tal-inċiżjoni tiddependi fuq it-tip ta 'materjal li għandu jiġi nċiż, ir-rekwiżiti tas-selettività tal-inċiżjoni, u r-rata ta' inċiżjoni mixtieqa.