ElettronikuGassijiet Speċjalihuma fergħa importanti ta 'gassijiet speċjali. Huma jippenetraw kważi kull rabta tal-produzzjoni tas-semikondutturi u huma materja prima indispensabbli għall-produzzjoni ta 'industriji elettroniċi bħal ċirkwiti integrati fuq skala kbira ultra-kbira, apparat tal-wiri tal-pannelli ċatti, u ċelloli solari.

Fit-teknoloġija tas-semikondutturi, il-gassijiet li fihom il-fluworin jintużaw ħafna. Bħalissa, fis-suq globali tal-gass elettroniku, il-gassijiet elettroniċi li fihom il-fluworin jammontaw għal madwar 30% tat-total. Il-gassijiet elettroniċi li fihom il-fluworin huma komponent importanti ta 'gassijiet elettroniċi speċjali fil-qasam ta' materjali ta 'informazzjoni elettronika. Huma użati prinċipalment bħala aġenti tat-tindif u aġenti tal-inċiżjoni, u jistgħu jintużaw ukoll bħala dopanti, materjali li jiffurmaw il-films, eċċ. F'dan l-artikolu, l-awtur iwasslek biex tifhem il-gassijiet komuni li fihom il-fluworin.

Dawn li ġejjin huma komunement użati gassijiet li fihom il-fluworin

Nitroġenu trifluworidu (NF3): gass użat għat-tindif u t-tneħħija ta 'depożiti, ġeneralment jintuża għat-tindif ta' kmamar ta 'reazzjoni u uċuħ ta' tagħmir.

Hexafluworidu tal-Kubrit (SF6): Aġent fluworinanti użat fil-proċessi ta 'deposizzjoni ta' ossidu u bħala gass iżolanti għall-mili ta 'midja iżolanti.

Fluworidu tal-idroġenu (HF): Użat biex jitneħħa l-ossidi mill-wiċċ tas-silikon u bħala etchant għall-inċiżjoni tas-silikon u materjali oħra.

Fluworidu tan-nitroġenu (NF): Użat biex inċiża materjali bħal nitride tas-silikon (dnub) u nitride tal-aluminju (ALN).

Trifluorometan (CHF3) uTetrafluoromethane (CF4): Użat biex inċiża materjali tal-fluworidu bħal fluworidu tas-silikon u fluworidu tal-aluminju.

Madankollu, il-gassijiet li fihom il-fluworin għandhom ċerti perikli, inklużi tossiċità, korrużività u fjammabbiltà.

Tossiċità

Xi gassijiet li fihom il-fluworin huma tossiċi, bħall-fluworidu tal-idroġenu (HF), li l-fwar tiegħu huwa irritanti ħafna għall-ġilda u l-passaġġ respiratorju u ta 'ħsara għas-saħħa tal-bniedem.

Korrużività

Il-fluworidu tal-idroġenu u xi fluworidi huma korrużivi ħafna u jistgħu jikkawżaw ħsara serja fuq il-ġilda, l-għajnejn u l-passaġġ respiratorju.

Fjammabbiltà

Xi fluworidi huma fjammabbli u jirreaġixxu bl-ossiġnu jew l-ilma fl-arja biex jirrilaxxaw sħana intensa u gassijiet tossiċi, li jistgħu jikkawżaw nar jew splużjoni.

Periklu bi pressjoni għolja

Xi gassijiet fluworinati huma splussivi taħt pressjoni għolja u jeħtieġu kura speċjali meta jintużaw u maħżuna.

Impatt fuq l-ambjent

Il-gassijiet li fihom il-fluworin għandhom ħajjiet atmosferiċi għoljin u valuri tal-GWP, li għandhom effett distruttiv fuq is-saff tal-ożonu atmosferiku u jistgħu jikkawżaw tisħin globali u tniġġis ambjentali.

L-applikazzjoni tal-gassijiet f'oqsma emerġenti bħall-elettronika tkompli tapprofondixxi, u ġġib ammont kbir ta 'domanda ġdida għal gassijiet industrijali. Ibbażat fuq l-ammont kbir ta 'kapaċità ta' produzzjoni ġdida ta 'komponenti elettroniċi ewlenin bħal semikondutturi u pannelli tal-wiri fiċ-Ċina kontinentali fil-ftit snin li ġejjin, kif ukoll id-domanda qawwija għas-sostituzzjoni tal-importazzjoni ta' materjali kimiċi elettroniċi, l-industrija domestika tal-gass elettroniku se toħroġ f'rata għolja ta 'tkabbir.