Elettronikugassijiet speċjaliHuma fergħa importanti ta' gassijiet speċjali. Jippenetraw kważi kull ħolqa tal-produzzjoni tas-semikondutturi u huma materja prima indispensabbli għall-produzzjoni ta' industriji elettroniċi bħal ċirkwiti integrati fuq skala ultra-kbira, apparati tal-wiri b'pannelli ċatti, u ċelloli solari.

Fit-teknoloġija tas-semikondutturi, il-gassijiet li fihom il-fluworin jintużaw ħafna. Bħalissa, fis-suq globali tal-gass elettroniku, il-gassijiet elettroniċi li fihom il-fluworin jammontaw għal madwar 30% tat-total. Il-gassijiet elettroniċi li fihom il-fluworin huma komponent importanti tal-gassijiet elettroniċi speċjali fil-qasam tal-materjali tal-informazzjoni elettronika. Jintużaw prinċipalment bħala aġenti tat-tindif u aġenti tal-inċiżjoni, u jistgħu jintużaw ukoll bħala dopanti, materjali li jiffurmaw film, eċċ. F'dan l-artikolu, l-awtur se jwasslek biex tifhem il-gassijiet komuni li fihom il-fluworin.

Dawn li ġejjin huma gassijiet li fihom il-fluworin li jintużaw b'mod komuni

Trifluoridu tan-nitroġenu (NF3): Gass użat għat-tindif u t-tneħħija tad-depożiti, ġeneralment użat għat-tindif tal-kmamar tar-reazzjoni u l-uċuħ tat-tagħmir.

Eżafluworidu tal-kubrit (SF6)Aġent fluworinanti użat fi proċessi ta' depożizzjoni tal-ossidu u bħala gass iżolanti għall-mili ta' mezzi iżolanti.

Fluworidu tal-idroġenu (HF): Użat biex ineħħi l-ossidi mill-wiċċ tas-silikon u bħala sustanza li tagħfas l-inċiżjoni għas-silikon u materjali oħra.

Fluworidu tan-nitroġenu (NF): Użat biex jinċiżu materjali bħan-nitrur tas-silikon (SiN) u n-nitrur tal-aluminju (AlN).

Trifluworometan (CHF3) utetrafluworometan (CF4)Użat biex jinċiżu materjali tal-fluworidu bħal fluworidu tas-silikon u fluworidu tal-aluminju.

Madankollu, il-gassijiet li fihom il-fluworin għandhom ċerti perikli, inkluż tossiċità, korrużività, u fjammabbiltà.

Tossiċità

Xi gassijiet li fihom il-fluworidu huma tossiċi, bħall-fluworidu tal-idroġenu (HF), li l-fwar tiegħu huwa irritanti ħafna għall-ġilda u l-apparat respiratorju u ta' ħsara għas-saħħa tal-bniedem.

Korrożività

Il-fluworidu tal-idroġenu u xi fluworidi huma korrużivi ħafna u jistgħu jikkawżaw ħsara serja lill-ġilda, lill-għajnejn u lill-apparat respiratorju.

Fjammabbiltà

Xi fluworidi huma fjammabbli u jirreaġixxu mal-ossiġnu jew mal-ilma fl-arja biex jirrilaxxaw sħana intensa u gassijiet tossiċi, li jistgħu jikkawżaw nar jew splużjoni.

Periklu ta' pressjoni għolja

Xi gassijiet fluworinati huma splussivi taħt pressjoni għolja u jeħtieġu attenzjoni speċjali meta jintużaw u jinħażnu.

L-impatt fuq l-ambjent

Il-gassijiet li fihom il-fluworu għandhom ħajjiet atmosferiċi għoljin u valuri GWP għoljin, li għandhom effett distruttiv fuq is-saff tal-ożonu atmosferiku u jistgħu jikkawżaw tisħin globali u tniġġis ambjentali.

L-applikazzjoni tal-gassijiet f'oqsma emerġenti bħall-elettronika tkompli tissaħħaħ, u ġġib magħha ammont kbir ta' domanda ġdida għal gassijiet industrijali. Abbażi tal-ammont kbir ta' kapaċità ta' produzzjoni ġdida ta' komponenti elettroniċi ewlenin bħal semikondutturi u pannelli tal-wiri fiċ-Ċina kontinentali fis-snin li ġejjin, kif ukoll id-domanda qawwija għas-sostituzzjoni tal-importazzjoni ta' materjali kimiċi elettroniċi, l-industrija domestika tal-gass elettroniku se twassal għal rata għolja ta' tkabbir.