Elettronikugassijiet speċjalihuma fergħa importanti ta' gassijiet speċjali. Jippenetraw kważi kull rabta tal-produzzjoni tas-semikondutturi u huma materja prima indispensabbli għall-produzzjoni ta 'industriji elettroniċi bħal ċirkwiti integrati fuq skala ultra-kbira, apparati tal-wiri fuq panew ċatt, u ċelloli solari.

Fit-teknoloġija tas-semikondutturi, il-gassijiet li fihom il-fluworin jintużaw ħafna. Bħalissa, fis-suq globali tal-gass elettroniku, gassijiet elettroniċi li fihom il-fluworin jammontaw għal madwar 30% tat-total. Gassijiet elettroniċi li fihom il-fluworin huma komponent importanti ta 'gassijiet elettroniċi speċjali fil-qasam tal-materjali ta' informazzjoni elettronika. Jintużaw prinċipalment bħala aġenti tat-tindif u aġenti tal-inċiżjoni, u jistgħu jintużaw ukoll bħala dopants, materjali li jiffurmaw il-film, eċċ. F'dan l-artikolu, l-awtur se tieħdok biex tifhem il-gassijiet komuni li fihom il-fluworin.

Dawn li ġejjin huma gassijiet li fihom il-fluworin użati b'mod komuni

Trifluworidu tan-nitroġenu (NF3): Gass użat għat-tindif u t-tneħħija tad-depożiti, normalment użat għat-tindif tal-kmamar tar-reazzjoni u l-uċuħ tat-tagħmir.

Eżafluworidu tal-kubrit (SF6): Aġent tal-fluworinazzjoni użat fil-proċessi ta 'depożizzjoni tal-ossidu u bħala gass iżolanti għall-mili tal-midja iżolanti.

Fluworidu tal-idroġenu (HF): Użat biex jitneħħew l-ossidi mill-wiċċ tas-silikon u bħala etchant għall-inċiżjoni tas-silikon u materjali oħra.

Fluworidu tan-nitroġenu (NF): Użat biex inċiżi materjali bħal nitrur tas-silikon (SiN) u nitrur tal-aluminju (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) utetrafluorometan (CF4): Użat biex inċiżi materjali tal-fluworidu bħal fluworidu tas-silikon u fluworidu tal-aluminju.

Madankollu, gassijiet li fihom il-fluworin għandhom ċerti perikli, inklużi t-tossiċità, il-korrużività u l-fjammabbiltà.

Tossiċità

Xi gassijiet li fihom il-fluworin huma tossiċi, bħall-fluworidu tal-idroġenu (HF), li l-fwar tiegħu huwa irritanti ħafna għall-ġilda u l-passaġġ respiratorju u ta 'ħsara għas-saħħa tal-bniedem.

Korrużività

Il-fluworidu tal-idroġenu u xi fluworidi huma korrużivi ħafna u jistgħu jikkawżaw ħsara serja lill-ġilda, lill-għajnejn u lill-passaġġ respiratorju.

Fjammabilità

Xi fluworidi huma fjammabbli u jirreaġixxu ma 'ossiġnu jew ilma fl-arja biex jirrilaxxaw sħana intensa u gassijiet tossiċi, li jistgħu jikkawżaw nar jew splużjoni.

Periklu ta' pressjoni għolja

Xi gassijiet fluworinati huma splussivi taħt pressjoni għolja u jeħtieġu kura speċjali meta jintużaw u maħżuna.

Impatt fuq l-ambjent

Gassijiet li fihom il-fluworin għandhom ħajja atmosferika għolja u valuri GWP, li għandhom effett distruttiv fuq is-saff tal-ożonu atmosferiku u jistgħu jikkawżaw tisħin globali u tniġġis ambjentali.

L-applikazzjoni ta 'gassijiet f'oqsma emerġenti bħall-elettronika qed tkompli tapprofondixxi, u ġġib ammont kbir ta' domanda ġdida għal gassijiet industrijali. Ibbażat fuq l-ammont kbir ta 'kapaċità ta' produzzjoni ġdida ta 'komponenti elettroniċi ewlenin bħal semikondutturi u pannelli tal-wiri fiċ-Ċina kontinentali fil-ftit snin li ġejjin, kif ukoll id-domanda qawwija għal sostituzzjoni ta' importazzjoni ta 'materjali kimiċi elettroniċi, l-industrija domestika tal-gass elettroniku se tintroduċi rata ta’ tkabbir għolja.