Hexafluworidu tat-tungstenu (WF6) huwa depożitat fuq il-wiċċ tal-wejfer permezz ta 'proċess CVD, jimla t-trinek tal-interkonnessjoni tal-metall, u jifforma l-interkonnessjoni tal-metall bejn is-saffi.
Ejja nitkellmu dwar il-plażma l-ewwel. Il-plażma hija forma ta 'materja magħmula prinċipalment minn elettroni ħielsa u joni ċċarġjati. Jeżisti ħafna fl-univers u ħafna drabi huwa meqjus bħala r-raba 'stat ta' materja. Huwa msejjaħ l-istat tal-plażma, imsejjaħ ukoll "plażma". Il-plażma għandha konduttività elettrika għolja u għandha effett ta 'akkoppjar qawwi ma' kamp elettromanjetiku. Huwa gass parzjalment jonizzat, magħmul minn elettroni, joni, radikali ħielsa, partiċelli newtrali, u fotoni. Il-plażma nnifisha hija taħlita elettrikament newtrali li fiha partiċelli attivi fiżikament u kimikament.
L-ispjegazzjoni sempliċi hija li taħt l-azzjoni ta 'enerġija għolja, il-molekula se tegħleb il-forza ta' van der Waals, il-forza ta 'bond kimiku u l-forza ta' Coulomb, u tippreżenta forma ta 'elettriku newtrali kollha kemm hi. Fl-istess ħin, l-enerġija għolja mogħtija minn barra tegħleb it-tliet forzi ta 'hawn fuq. Funzjoni, elettroni u joni jippreżentaw stat ħieles, li jista 'jintuża artifiċjalment taħt il-modulazzjoni ta' kamp manjetiku, bħal proċess ta 'inċiżjoni tas-semikondutturi, proċess CVD, PVD u proċess IMP.
X'inhi enerġija għolja? Fit-teorija, kemm temperatura għolja kif ukoll frekwenza għolja RF jistgħu jintużaw. B'mod ġenerali, temperatura għolja hija kważi impossibbli li tinkiseb. Dan ir-rekwiżit tat-temperatura huwa għoli wisq u jista 'jkun qrib it-temperatura tax-xemx. Bażikament huwa impossibbli li jinkiseb fil-proċess. Għalhekk, l-industrija ġeneralment tuża RF ta 'frekwenza għolja biex tilħaqha. Il-plażma RF tista 'tilħaq sa 13MHz +.
Hexafluworidu tat-tungstenu huwa plażmazzat taħt l-azzjoni ta 'kamp elettriku, u mbagħad iddepożitat mill-fwar minn kamp manjetiku. L-atomi W huma simili għar-rix tal-wiżż tax-xitwa u jaqgħu mal-art taħt l-azzjoni tal-gravità. Bil-mod, l-atomi W huma depożitati fit-toqob permezz, u fl-aħħar mimlijin minn toqob biex jiffurmaw interkonnessjonijiet tal-metall. Minbarra li jiddepożitaw l-atomi W fit-toqob permezz, se jiġu depożitati wkoll fuq il-wiċċ tal-wejfer? Iva, definittivament. B'mod ġenerali, tista 'tuża l-proċess W-CMP, li huwa dak li nsejħu l-proċess ta' tħin mekkaniku biex jitneħħew. Huwa simili għall-użu ta 'xkupi biex jiknes l-art wara borra qawwija. Il-borra fuq l-art hija miknusa, iżda l-borra fit-toqba fuq l-art tibqa '. L-isfel, bejn wieħed u ieħor l-istess.
POST ĦIN: 24-2021 ta 'Diċembru
