Hexafluoride tat-tungstenu (WF6) huwa depożitat fuq il-wiċċ tal-wejfer permezz ta 'proċess CVD, jimla t-trinek tal-interkonnessjoni tal-metall, u jifforma l-interkonnessjoni tal-metall bejn is-saffi.
Ejja nitkellmu dwar il-plażma l-ewwel. Il-plażma hija forma ta 'materja magħmula prinċipalment minn elettroni ħielsa u joni ċċarġjati. Jeżisti b'mod wiesa 'fl-univers u spiss jitqies bħala r-raba' stat tal-materja. Huwa msejjaħ l-istat tal-plażma, imsejjaħ ukoll "Plażma". Il-plażma għandha konduttività elettrika għolja u għandha effett qawwi ta 'akkoppjar b'kamp elettromanjetiku. Huwa gass parzjalment jonizzat, magħmul minn elettroni, joni, radikali ħielsa, partiċelli newtrali, u fotoni. Il-plażma nnifisha hija taħlita elettrikament newtrali li fiha partiċelli attivi fiżikament u kimikament.
L-ispjegazzjoni sempliċi hija li taħt l-azzjoni ta 'enerġija għolja, il-molekula se tegħleb il-forza ta' van der Waals, forza ta 'bond kimiku u forza Coulomb, u tippreżenta forma ta' elettriku newtrali kollu kemm hu. Fl-istess ħin, l-enerġija għolja mogħtija minn barra tegħleb it-tliet forzi ta 'hawn fuq. Funzjoni, elettroni u joni jippreżentaw stat ħieles, li jista 'jintuża artifiċjalment taħt il-modulazzjoni ta' kamp manjetiku, bħal proċess ta 'inċiżjoni ta' semikondutturi, proċess CVD, proċess PVD u IMP.
X'inhi enerġija għolja? Fit-teorija, jistgħu jintużaw kemm temperatura għolja kif ukoll RF ta 'frekwenza għolja. B'mod ġenerali, temperatura għolja hija kważi impossibbli li tinkiseb. Dan ir-rekwiżit tat-temperatura huwa għoli wisq u jista 'jkun qrib it-temperatura tax-xemx. Bażikament huwa impossibbli li jinkiseb fil-proċess. Għalhekk, l-industrija normalment tuża RF ta 'frekwenza għolja biex tikseb dan. Plasma RF jista 'jilħaq għoli daqs 13MHz+.
Hexafluoride tat-tungstenu huwa plasmaizzat taħt l-azzjoni ta 'kamp elettriku, u mbagħad depożitat mill-fwar minn kamp manjetiku. L-atomi W huma simili għar-rix tal-wiżż tax-xitwa u jaqgħu fl-art taħt l-azzjoni tal-gravità. Bil-mod, l-atomi W huma ddepożitati fit-toqob, u fl-aħħar jimtlew toqob sħiħ biex jiffurmaw interkonnessjonijiet tal-metall. Minbarra d-depożitu ta 'atomi W fit-toqob permezz, se jkunu depożitati wkoll fuq il-wiċċ tal-Wafer? Iva, żgur. B'mod ġenerali, tista 'tuża l-proċess W-CMP, li huwa dak li nsejħu l-proċess tat-tħin mekkaniku biex tneħħi. Huwa simili għall-użu ta 'ġummar biex jiknes l-art wara borra qawwija. Il-borra ta 'l-art tinknes, iżda l-borra fit-toqba ta' l-art tibqa '. Down, bejn wieħed u ieħor l-istess.
Ħin tal-post: Diċ-24-2021
