L-eżafluworidu tat-tungstenu (WF6) jiġi depożitat fuq il-wiċċ tal-wejfer permezz ta' proċess CVD, jimla t-trinek tal-interkonnessjoni tal-metall, u jifforma l-interkonnessjoni tal-metall bejn is-saffi.
Ejja nitkellmu dwar il-plażma l-ewwel. Il-plażma hija forma ta' materja magħmula prinċipalment minn elettroni ħielsa u joni ċċarġjati. Teżisti b'mod wiesa' fl-univers u ħafna drabi titqies bħala r-raba' stat tal-materja. Jissejjaħ l-istat tal-plażma, imsejjaħ ukoll "Plażma". Il-plażma għandha konduttività elettrika għolja u għandha effett qawwi ta' akkoppjar mal-kamp elettromanjetiku. Hija gass parzjalment jonizzat, magħmul minn elettroni, joni, radikali ħielsa, partiċelli newtrali, u fotoni. Il-plażma nnifisha hija taħlita elettrikament newtrali li fiha partiċelli fiżikament u kimikament attivi.
L-ispjegazzjoni sempliċi hija li taħt l-azzjoni ta' enerġija għolja, il-molekula se tegħleb il-forza ta' van der Waals, il-forza tal-bond kimiku u l-forza ta' Coulomb, u tippreżenta forma ta' elettriku newtrali b'mod ġenerali. Fl-istess ħin, l-enerġija għolja mogħtija minn barra tegħleb it-tliet forzi ta' hawn fuq. Fil-funzjoni, l-elettroni u l-joni jippreżentaw stat ħieles, li jista' jintuża artifiċjalment taħt il-modulazzjoni ta' kamp manjetiku, bħal proċess ta' inċiżjoni tas-semikondutturi, proċess CVD, PVD u proċess IMP.
X'inhi enerġija għolja? Fit-teorija, jistgħu jintużaw kemm RF ta' temperatura għolja kif ukoll RF ta' frekwenza għolja. Ġeneralment, temperatura għolja hija kważi impossibbli li tintlaħaq. Dan ir-rekwiżit ta' temperatura huwa għoli wisq u jista' jkun qrib it-temperatura tax-xemx. Huwa bażikament impossibbli li tintlaħaq fil-proċess. Għalhekk, l-industrija ġeneralment tuża RF ta' frekwenza għolja biex tikseb dan. L-RF tal-plażma tista' tilħaq sa 13MHz+.
L-eżafluworidu tat-tungstenu jiġi plażmatizzat taħt l-azzjoni ta' kamp elettriku, u mbagħad depożitat bil-fwar minn kamp manjetiku. L-atomi W huma simili għar-rix tal-wiżż tax-xitwa u jaqgħu mal-art taħt l-azzjoni tal-gravità. Bil-mod, l-atomi W jiġu depożitati fit-toqob, u finalment jimtlew toqob sħaħ biex jiffurmaw interkonnessjonijiet tal-metall. Minbarra li jiddepożitaw l-atomi W fit-toqob, se jiġu depożitati wkoll fuq il-wiċċ tal-Wafer? Iva, definittivament. Ġeneralment, tista' tuża l-proċess W-CMP, li huwa dak li nsejħu l-proċess tat-tħin mekkaniku biex tneħħi. Huwa simili għall-użu ta' xkupa biex tiknes l-art wara borra qawwija. Il-borra fuq l-art tinġarr, iżda l-borra fit-toqba fuq l-art tibqa'. 'L isfel, bejn wieħed u ieħor l-istess.
Ħin tal-posta: 24 ta' Diċembru 2021
