L-hexafluworidu tal-kubrit huwa gass bi proprjetajiet iżolanti eċċellenti u ħafna drabi jintuża fit-tifi tal-ark ta 'vultaġġ għoli u t-transformers, linji ta' trasmissjoni ta 'vultaġġ għoli, transformers, eċċ. Madankollu, minbarra dawn il-funzjonijiet, l-hexafluworidu tal-kubrit jista' jintuża wkoll bħala inchant elettroniku. Hexafluworidu tal-kubrit ta 'pulity b'livell għoli ta' grad elettroniku huwa etchant elettroniku ideali, li huwa użat ħafna fil-qasam tat-teknoloġija tal-mikroelettronika. Illum, l-Editur Speċjali tal-Gass ta 'Niu Ruide Yueyue se jintroduċi l-applikazzjoni ta' hexafluworidu tal-kubrit fl-inċiżjoni tan-nitride tas-silikon u l-influwenza ta 'parametri differenti.
Aħna niddiskutu l-proċess SINX tal-inċiżjoni tal-plażma SF6, inkluż it-tibdil tal-qawwa fil-plażma, il-proporzjon tal-gass ta 'SF6 / HE u żżid il-gass katjoniku O2, jiddiskuti l-influwenza tiegħu fuq ir-rata ta' inċiżjoni tas-saff ta 'protezzjoni tal-element SINX ta' TFT, u bl-użu ta 'radjazzjoni fil-plażma l-ispettrometru janalizza l-bidliet fil-konċentrazzjoni ta' kull speċi fi kull speċi fi SF6 / He, SF6 / He / o2 u tesplora r-relazzjoni bejn il-bidla tar-rata ta 'inċiżjoni SINX u l-konċentrazzjoni tal-ispeċi fil-plażma.
Studji sabu li meta l-qawwa tal-plażma tiżdied, ir-rata tal-inċiżjoni tiżdied; Jekk ir-rata tal-fluss ta 'SF6 fil-plażma tiżdied, il-konċentrazzjoni tal-atomu F tiżdied u hija korrelata b'mod pożittiv mar-rata ta' inċiżjoni. Barra minn hekk, wara li żżid il-gass katjoniku O2 taħt ir-rata ta 'fluss totali fissa, se jkollu l-effett li jiżdied ir-rata ta' inċiżjoni, iżda taħt proporzjonijiet differenti ta 'fluss O2 / SF6, se jkun hemm mekkaniżmi ta' reazzjoni differenti, li jistgħu jinqasmu fi tliet partijiet: (1) il-proporzjon tal-fluss O2 / SF6 huwa żgħir ħafna, l-O2 jista 'jgħin id-dissoċjazzjoni ta' SF6, u r-rata ta 'l-irqaq f'dan il-ħin hija ikbar minn meta l-O2 ma żiedx aktar minn dan il-ħin. (2) Meta l-proporzjon tal-fluss O2 / SF6 huwa akbar minn 0.2 għall-intervall li joqrob 1, f'dan il-ħin, minħabba l-ammont kbir ta 'dissoċjazzjoni ta' SF6 biex jifforma atomi F, ir-rata ta 'inċiżjoni hija l-ogħla; Iżda fl-istess ħin, l-atomi O fil-plażma qed jiżdiedu wkoll u huwa faċli li tifforma Sioxo jew Sinxo (YX) bil-wiċċ tal-film Sinx, u l-aktar O atomi jiżdiedu, iktar ikunu diffiċli l-atomi F se jkunu għar-reazzjoni tal-inċiżjoni. Għalhekk, ir-rata ta 'inċiżjoni tibda tonqos meta l-proporzjon O2 / SF6 huwa qrib 1. (3) meta l-proporzjon O2 / SF6 huwa akbar minn 1, ir-rata ta' inċiżjoni tonqos. Minħabba ż-żieda kbira fl-O2, l-atomi F dissoċjati jaħbtu ma 'O2 u l-forma ta', li tnaqqas il-konċentrazzjoni ta 'atomi F, li tirriżulta fi tnaqqis fir-rata ta' inċiżjoni. Jista 'jidher minn dan li meta jiġi miżjud O2, il-proporzjon tal-fluss ta' O2 / SF6 huwa bejn 0.2 u 0.8, u l-aħjar rata ta 'inċiżjoni tista' tinkiseb.
POST TIME: 06-2021 ta 'Diċembru
