Gassijiet elettroniċi speċjali li fihom il-fluworin jinkludu l-gassijiet elettroniċi speċjaliHexafluworidu tal-Kubrit (SF6), Hexafluoride tat-Tungstenu (WF6),Tetrafluworidu tal-karbonju (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitroġenu trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) u octafluworopropan (C3F8).
Bl-iżvilupp tan-nanoteknoloġija u l-iżvilupp fuq skala kbira tal-industrija tal-elettronika, id-domanda tagħha se tiżdied jum wara jum. It-trifluworidu tan-nitroġenu, bħala gass elettroniku speċjali indispensabbli u l-ikbar użat fil-produzzjoni u l-ipproċessar ta 'pannelli u semikondutturi, għandu spazju wiesa' tas-suq.
Bħala tip ta 'gass speċjali li fih il-fluworin,Nitroġenu trifluworidu (NF3)huwa l-prodott elettroniku tal-gass speċjali bl-akbar kapaċità tas-suq. Huwa kimikament inert f'temperatura tal-kamra, aktar attiv minn ossiġenu f'temperatura għolja, aktar stabbli mill-fluworin, u faċli biex timmaniġġa. It-trifluworidu tan-nitroġenu huwa prinċipalment użat bħala gass tal-inċiżjoni fil-plażma u aġent tat-tindif tal-kamra ta 'reazzjoni, u huwa adattat għall-oqsma tal-manifattura ta' ċipep tas-semikondutturi, wirjiet tal-pannelli ċatti, fibri ottiċi, ċelloli fotovoltajċi, eċċ.
Meta mqabbel ma 'gassijiet elettroniċi oħra li fihom il-fluworin,Nitroġenu trifluworidugħandu l-vantaġġi ta 'reazzjoni mgħaġġla u effiċjenza għolja. Speċjalment fl-inċiżjoni ta 'materjali li fihom is-silikon bħal nitride tas-silikon, għandu rata ta' inċiżjoni għolja u selettività, u ma jħalli l-ebda residwu fuq il-wiċċ ta 'l-oġġett inċiż. Huwa wkoll aġent ta 'tindif tajjeb ħafna u m'għandu l-ebda tniġġis fil-wiċċ, li jista' jissodisfa l-bżonnijiet tal-proċess ta 'proċessar.
Ħin ta 'wara: Settembru-14-2024
