Fil-proċess tal-manifattura tal-funderiji tal-wejfer semikondutturi bi proċessi ta 'produzzjoni relattivament avvanzati, huma meħtieġa kważi 50 tip differenti ta' gassijiet. Il-gassijiet huma ġeneralment maqsuma f'gassijiet bl-ingrossa uGassijiet Speċjali.

L-applikazzjoni tal-gassijiet fil-mikroelettronika u l-industriji tas-semikondutturi L-użu tal-gassijiet dejjem kellu rwol importanti fil-proċessi tas-semikondutturi, speċjalment il-proċessi tas-semikondutturi jintużaw ħafna f'diversi industriji. Minn ULSI, TFT-LCD għall-industrija mikro-elettromekkanika attwali (MEMS), proċessi ta 'semikondutturi jintużaw bħala proċessi ta' manifattura tal-prodott, inklużi inċiżjoni niexfa, ossidazzjoni, impjantazzjoni tal-joni, deposizzjoni ta 'film irqiq, eċċ.

Pereżempju, ħafna nies jafu li ċ-ċipep huma magħmula minn ramel, iżda jħarsu lejn il-proċess kollu tal-manifattura taċ-ċippa, hemm bżonn ta 'aktar materjali, bħal fotoreżisti, likwidu tal-lostru, materjal fil-mira, gass speċjali, eċċ. Huma indispensabbli. L-imballaġġ back-end jirrikjedi wkoll substrati, interposers, frejms taċ-ċomb, materjali tat-twaħħil, eċċ ta 'materjali varji. Gassijiet speċjali elettroniċi huma t-tieni l-akbar materjal fl-ispejjeż tal-manifattura tas-semikondutturi wara wejfers tas-silikon, segwiti minn maskri u fotoreżisti.

Il-purità tal-gass għandha influwenza deċiżiva fuq il-prestazzjoni tal-komponenti u r-rendiment tal-prodott, u s-sigurtà tal-provvista tal-gass hija relatata mas-saħħa tal-persunal u s-sigurtà tal-operazzjoni tal-fabbrika. Għaliex il-purità tal-gass għandha impatt daqshekk kbir fuq il-linja tal-proċess u l-persunal? Din mhix esaġerazzjoni, iżda hija determinata mill-karatteristiċi perikolużi tal-gass innifsu.

Klassifikazzjoni ta 'gassijiet komuni fl-industrija tas-semikondutturi

Gass ordinarju

Il-gass ordinarju jissejjaħ ukoll gass bl-ingrossa: jirreferi għall-gass industrijali b'rekwiżit ta 'purità inqas minn 5n u produzzjoni kbira ta' produzzjoni u bejgħ. Jista 'jinqasam f'gass ta' separazzjoni ta 'l-arja u gass sintetiku skond metodi ta' preparazzjoni differenti. Idroġenu (H2), nitroġenu (N2), ossiġnu (O2), argon (A2), eċċ.;

Gass speċjalizzat

Il-gass ta 'speċjalità jirreferi għal gass industrijali li jintuża f'oqsma speċifiċi u għandu rekwiżiti speċjali għal purità, varjetà, u proprjetajiet. PrinċipalmentSIH4, Ph3, b2h6, a8h3,HCl, CF4,NH3, Pocl3, SIH2Cl2, SIHCl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... u l-bqija.

Tipi ta 'gassijiet spiċjali

Tipi ta 'Gassijiet Speċjali: Korrużjoni, Tossika, Fjammabbli, Supporting Combustion, Inert, eċċ.
Il-gassijiet tas-semikondutturi użati b'mod komuni huma kklassifikati kif ġej:
(i) korrużiv / tossiku:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBR 、 SIH2CL2 、 NH3 、 PH3 、 CL2 、Bcl3...
(ii) Fjammabbli: H2 、CH4、SIH4、 Ph3 、 ash3 、 SIH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO ...
(iii) kombustibbli: O2 、 CL2 、 N2O 、 NF3 ...
(iv) Inert: N2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Hu ...

Fil-proċess tal-manifattura taċ-ċippa tas-semikondutturi, madwar 50 tip differenti ta 'gassijiet speċjali (imsejħa gassijiet speċjali) jintużaw fl-ossidazzjoni, diffużjoni, deposizzjoni, inċiżjoni, injezzjoni, fotolitografija u proċessi oħra, u l-passi totali tal-proċess jaqbżu mijiet. Pereżempju, ph3 u ash3 jintużaw bħala fosfru u sorsi ta 'arseniku fil-proċess ta' impjantazzjoni tal-joni, gassijiet ibbażati fuq F CF4, CHF3, SF6 u gassijiet ta 'aloġeni CI2, BCI3, HBR huma komunement użati fil-proċess ta' inċiżjoni, SIH4, NH3, N2O fil-proċess ta 'films tad-depożitu, F2 / KR / NE, KR / NE fil-proċess ta' fotolitografija.

Mill-aspetti ta 'hawn fuq, nistgħu nifhmu li ħafna gassijiet semikondutturi huma ta' ħsara għall-ġisem tal-bniedem. B'mod partikolari, uħud mill-gassijiet, bħal SIH4, qed jidħlu lilhom infushom. Sakemm ma jnixxu, huma jirreaġixxu b'mod vjolenti bl-ossiġnu fl-arja u jibdew jaħarqu; u Ash3 huwa tossiku ħafna. Kull tnixxija żgħira tista 'tikkawża ħsara lill-ħajja tan-nies, u għalhekk ir-rekwiżiti għas-sigurtà tad-disinn tas-sistema ta' kontroll għall-użu ta 'gassijiet speċjali huma partikolarment għoljin.

Is-semikondutturi jeħtieġu gassijiet ta 'purità għolja li jkollhom "tliet gradi"

Purità tal-gass

Il-kontenut ta 'atmosfera ta' impurità fil-gass huwa ġeneralment espress bħala perċentwali ta 'purità tal-gass, bħal 99.9999%. B'mod ġenerali, ir-rekwiżit ta 'purità għal gassijiet speċjali elettroniċi jilħaq 5N-6N, u huwa espress ukoll mill-proporzjon tal-volum ta' kontenut ta 'atmosfera ta' impurità PPM (parti għal kull miljun), PPB (parti għal kull biljun), u PPT (parti għal kull triljun). Il-kamp tas-semikondutturi elettroniċi għandu l-ogħla rekwiżiti għall-purità u l-istabbiltà tal-kwalità ta 'gassijiet speċjali, u l-purità ta' gassijiet speċjali elettroniċi hija ġeneralment ikbar minn 6N.

Nixfa

Il-kontenut ta 'l-ilma traċċa fil-gass, jew l-imxarrab, huwa ġeneralment espress fil-punt tan-nida, bħalma huma l-punt tan-nida atmosferika -70 ℃.

Indafa

In-numru ta 'partiċelli li jniġġsu fil-gass, partiċelli b'daqs ta' partiċelli ta 'µM, huwa espress f'kemm partiċelli / m3. Għal arja kkompressata, ġeneralment huwa espress f'Mg / M3 ta 'residwi solidi inevitabbli, li jinkludi kontenut ta' żejt.