Proprjetajiet u karatteristiċi tal-klorur tal-idroġenu ta' grad elettroniku u l-applikazzjoni tiegħu fis-semikondutturi

Klorur tal-idroġenuhuwa gass bla kulur b'riħa qawwija. Is-soluzzjoni akwea tiegħu tissejjaħ aċidu idrokloriku, magħruf ukoll bħala aċidu idrokloriku. Il-klorur tal-idroġenu jinħall ħafna fl-ilma. F'0°C, volum wieħed ta' ilma jista' jxolji madwar 500 volum ta' klorur tal-idroġenu.

Għandu l-proprjetajiet u l-karatteristiċi li ġejjin:

1. Purità għolja

Il-purità tal-grad elettronikuklorur tal-idroġenuhuwa għoli ħafna, ġeneralment f'ppm jew livell aktar baxx, biex jiżgura li l-ebda impurità ma tiġi introdotta fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi.

3

2. Inerzja

Huwa gass kimikament inert li ma jirreaġixxix ma' ħafna sustanzi oħra, li huwa importanti ħafna biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni ta' materjali u tagħmir semikondutturi.

3. Stabbiltà għolja

Grad elettronikuklorur tal-idroġenuġeneralment għandha kimika stabbli biex tiżgura pproċessar affidabbli tas-semikondutturi.

Fl-ipproċessar tas-semikondutturi, l-applikazzjonijiet ewlenin tal-klorur tal-idroġenu ta' grad elettroniku jinkludu:

1. Tindif u tħejjija tal-wiċċ

Bħala tindif effiċjenti tal-wiċċ, grad elettronikuklorur tal-idroġenujintuża biex jitneħħew l-ossidi u l-impuritajiet mill-wiċċ tas-sottostrat biex tiġi żgurata l-kwalità u l-purità tas-saff epitassjali jew tal-film.

2. Għajnuna għat-tkabbir epitassjali

Użat bħala aġent tat-trattament tal-wiċċ fil-proċess epitassjali, jgħin biex itejjeb il-kwalità tas-saff epitassjali, itejjeb it-tqabbil tal-kannizzata, u jnaqqas il-formazzjoni ta' difetti tal-kannizzata.

3. Pretrattament tas-sottostrat

Qabel il-preparazzjoni ta' apparati semikondutturi, grad elettronikuklorur tal-idroġenujista' jintuża biex jittratta l-wiċċ tas-sottostrat biex jifforma bażi stabbli biex itejjeb l-adeżjoni bejn is-saff epitassjali u s-sottostrat.

4. Aġent awżiljarju għad-depożizzjoni

Fil-proċess ta' depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD) jew depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD), il-klorur tal-idroġenu ta' grad elettroniku jista' jintuża bħala mezz ta' trasferiment tal-fażi tal-gass biex jipparteċipa fir-reazzjoni ta' depożizzjoni ta' materjali semikondutturi.

5. Aġent tat-trasferiment tal-fażi tal-gass

Bħala aġent tat-trasferiment tal-fażi tal-gass, prekursuri gassużi oħra jiġu introdotti fil-kompartiment tar-reazzjoni biex jgħinu jaġġustaw ir-rata ta' depożizzjoni u l-uniformità tal-materjal.

mmexport1531912824090

Dawn il-karatteristiċi jagħmlu l-grad elettronikuklorur tal-idroġenuaġent importanti tal-ipproċessar fit-teknoloġija tas-semikondutturi, li għandu impatt ewlieni fuq il-prestazzjoni u l-affidabbiltà tal-apparat finali.

Minbarra l-użu tiegħu fl-ipproċessar tas-semikondutturi, il-klorur tal-idroġenu ta' grad elettroniku jista' jsib varjetà ta' użi f'oqsma oħra, inklużi: Tħejjija ta' materjali ta' purità għolja, Ċelloli tal-Fjuwil, Tkabbir ta' materjali semikondutturi, Litografija fil-Fażi tal-Fwar, Analiżi tal-Materjali, Riċerka Kimika.

B'mod ġenerali, grad elettronikuklorur tal-idroġenuhuwa gass versatili u ta' purità għolja li għandu firxa wiesgħa ta' applikazzjonijiet barra mill-manifattura tas-semikondutturi.


Ħin tal-posta: 17 ta' Diċembru 2024