Triklorur tal-boron (BCl3)huwa kompost inorganiku li jintuża komunement fi proċessi ta' inċiżjoni niexfa u depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD) fil-manifattura tas-semikondutturi. Huwa gass bla kulur b'riħa qawwija u punġenti f'temperatura tal-kamra u huwa sensittiv għall-arja umda għaliex jidrolizza biex jipproduċi aċidu idrokloriku u aċidu boriku.

Applikazzjonijiet tat-Triklorur tal-Boron

Fl-industrija tas-semikondutturi,Triklorur tal-boronJintuża prinċipalment għall-inċiżjoni niexfa tal-aluminju u bħala dopant biex jifforma reġjuni tat-tip P fuq wejfers tas-silikon. Jista' jintuża wkoll biex jinċiżu materjali bħal GaAs, Si, AlN, u bħala sors ta' boron f'ċerti applikazzjonijiet speċifiċi. Barra minn hekk, it-triklorur tal-boron jintuża ħafna fl-ipproċessar tal-metall, l-industrija tal-ħġieġ, l-analiżi kimika u r-riċerka fil-laboratorju.

Sigurtà tat-Triklorur tal-Boron

Triklorur tal-boronhuwa korrużiv u tossiku u jista' jikkawża ħsara serja lill-għajnejn u lill-ġilda. Jidrolizza fl-arja umda biex jirrilaxxa gass tossiku tal-klorur tal-idroġenu. Għalhekk, jeħtieġ li jittieħdu miżuri ta' sigurtà xierqa meta jiġi mmaniġġjat.Triklorur tal-boron, inkluż l-ilbies ta' ħwejjeġ protettivi, nuċċalijiet protettivi u tagħmir ta' protezzjoni respiratorja, u l-operazzjoni f'ambjent ventilat tajjeb.