Il-gassijiet ta 'purità ultra-għolja (UHP) huma l-ħajja ta' l-industrija tas-semikondutturi. Peress li d-domanda bla preċedent u t-tfixkil fil-katini tal-provvista globali jimbuttaw il-prezz tal-gass bi pressjoni ultra-għolja, id-disinn u l-prattiki tal-manifattura semikondutturi ġodda qed iżidu l-livell ta 'kontroll tat-tniġġis meħtieġ. Għall-manifatturi tas-semikondutturi, li tkun tista 'tiżgura li l-purità tal-gass UHP hija iktar importanti minn qatt qabel.

Il-gassijiet ta 'purità ultra għolja (UHP) huma assolutament kritiċi fil-manifattura moderna tas-semikondutturi

Waħda mill-applikazzjonijiet ewlenin tal-gass UHP hija l-inertizzazzjoni: il-gass UHP jintuża biex jipprovdi atmosfera protettiva madwar komponenti tas-semikondutturi, u b'hekk tipproteġihom mill-effetti ta 'ħsara ta' l-umdità, l-ossiġnu u kontaminanti oħra fl-atmosfera. Madankollu, l-inertizzazzjoni hija biss waħda mill-ħafna funzjonijiet differenti li l-gassijiet iwettqu fl-industrija tas-semikondutturi. Minn gassijiet primarji fil-plażma għal gassijiet reattivi użati fl-inċiżjoni u l-ittemprar, gassijiet ta 'pressjoni ultra-għolja jintużaw għal ħafna skopijiet differenti u huma essenzjali fil-katina tal-provvista tas-semikondutturi.

Uħud mill-gassijiet "ewlenin" fl-industrija tas-semikondutturi jinkluduNitroġenu(użat bħala tindif ġenerali u gass inert),Argon(użat bħala l-gass primarju fil-plażma fir-reazzjonijiet tal-inċiżjoni u d-deposizzjoni),elju(użat bħala gass inert bi proprjetajiet speċjali ta 'trasferiment tas-sħana) uidroġenu(għandu rwoli multipli fit-ttremprar, deposizzjoni, epitaxy u tindif fil-plażma).

Hekk kif it-teknoloġija tas-semikondutturi evolviet u nbidlet, hekk ukoll il-gassijiet jintużaw fil-proċess tal-manifattura. Illum, impjanti tal-manifattura tas-semikondutturi jużaw firxa wiesgħa ta 'gassijiet, minn gassijiet nobbli bħalKryptonuNeongħal speċi reattivi bħal trifluworidu tan-nitroġenu (NF 3) u hexafluworidu tat-tungstenu (WF 6).

Domanda dejjem tikber għall-purità

Mill-invenzjoni tal-ewwel microchip kummerċjali, id-dinja rat żieda tal-għaġeb kważi esponenzjali fil-prestazzjoni ta 'apparati semikondutturi. Matul l-aħħar ħames snin, wieħed mill-aktar modi siguri biex jinkiseb dan it-tip ta 'titjib tal-prestazzjoni kien permezz ta' "skalar tad-daqs": it-tnaqqis tad-dimensjonijiet ewlenin tal-arkitetturi taċ-ċippa eżistenti sabiex jingħafsu aktar transistors fi spazju partikolari. Minbarra dan, l-iżvilupp ta 'arkitetturi ta' ċippa ġdida u l-użu ta 'materjali avvanzati pproduċew qabża fil-prestazzjoni tal-apparat.

Illum, id-dimensjonijiet kritiċi ta 'semikondutturi avvanzati issa huma daqshekk żgħar li l-iskalar tad-daqs m'għadux mod vijabbli biex titjieb il-prestazzjoni tal-apparat. Minflok, riċerkaturi tas-semikondutturi qed ifittxu soluzzjonijiet fil-forma ta 'materjali ġodda u arkitetturi ta' ċippa 3D.

Għexieren ta 'snin ta' disinn mill-ġdid bla heda jfissru l-apparati tas-semikondutturi tal-lum huma ferm aktar qawwija mill-microchips ta 'qodma - imma huma wkoll aktar fraġli. Il-miġja tat-teknoloġija tal-fabbrikazzjoni tal-wejfer ta '300mm żiedet il-livell ta' kontroll tal-impurità meħtieġ għall-manifattura tas-semikondutturi. Anki l-iċken kontaminazzjoni fi proċess ta 'manifattura (speċjalment gassijiet rari jew inerti) tista' twassal għal falliment ta 'tagħmir katastrofiku - u għalhekk il-purità tal-gass issa hija iktar importanti minn qatt qabel.

Għal impjant tipiku ta 'fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, il-gass ultra-għoli ta' purità hija diġà l-akbar spiża materjali wara s-silikon innifsu. Dawn l-ispejjeż huma mistennija biss li jiżdiedu hekk kif id-domanda għal semikondutturi tiżdied għal għoli ġdid. Avvenimenti fl-Ewropa kkawżaw tfixkil addizzjonali fis-suq tal-gass naturali ta 'pressjoni ultra-għolja. L-Ukrajna hija waħda mill-ikbar esportaturi tad-dinja ta 'purità għoljaNeonsinjali; L-invażjoni tar-Russja tfisser li l-provvisti tal-gass rari qed jiġu ristretti. Dan imbagħad wassal għal nuqqasijiet u prezzijiet ogħla ta 'gassijiet nobbli oħra bħalKryptonuXenon.