Speċifikazzjoni | 99.999% |
Ossiġnu + Argon | ≤1ppm |
Nitroġenu | ≤4 ppm |
Umdità (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halocarbynes | ≤1 ppm |
Impuritajiet Totali | ≤10 ppm |
Carbon tetrafluoride huwa idrokarburi aloġenati bil-formula kimika CF4. Jista 'jitqies bħala idrokarbon aloġenat, metanu aloġenat, perfluworokarbon, jew bħala kompost inorganiku. It-tetrafluworidu tal-karbonju huwa gass bla kulur u bla riħa, li ma jinħallx fl-ilma, li jinħall fil-benżin u l-kloroform. Stabbli taħt temperatura u pressjoni normali, evita ossidanti qawwija, materjali fjammabbli jew kombustibbli. Gass li ma jaqbadx, il-pressjoni interna tal-kontenitur se tiżdied meta jkun espost għal sħana għolja, u hemm periklu ta 'qsim u splużjoni. Huwa kimikament stabbli u mhux fjammabbli. Reaġent tal-metall ammonja-sodju likwidu biss jista 'jaħdem f'temperatura tal-kamra. It-tetrafluworidu tal-karbonju huwa gass li jikkawża l-effett serra. Huwa stabbli ħafna, jista 'jibqa' fl-atmosfera għal żmien twil, u huwa gass serra b'saħħtu ħafna. It-tetrafluworidu tal-karbonju jintuża fil-proċess ta 'inċiżjoni fil-plażma ta' diversi ċirkwiti integrati. Jintuża wkoll bħala gass tal-laser, u jintuża f'refriġeranti b'temperatura baxxa, solventi, lubrikanti, materjali iżolanti, u coolants għal ditekters infra-aħmar. Huwa l-aktar gass tal-inċiżjoni tal-plażma użat fl-industrija tal-mikroelettronika. Hija taħlita ta 'gass tetrafluoromethane ta' purità għolja u gass ta 'purità għolja ta' tetrafluoromethane u ossiġnu ta 'purità għolja. Jista 'jintuża ħafna fis-silikon, dijossidu tas-silikon, nitrur tas-silikon u ħġieġ fosfosilikat. L-inċiżjoni ta 'materjali ta' film irqiq bħal tungstenu u tungstenu tintuża ħafna wkoll fit-tindif tal-wiċċ ta 'apparat elettroniku, produzzjoni ta' ċelloli solari, teknoloġija tal-laser, refriġerazzjoni b'temperatura baxxa, spezzjoni ta 'tnixxija, u deterġent fil-produzzjoni ta' ċirkwit stampat. Użat bħala refriġerant b'temperatura baxxa u teknoloġija ta 'inċiżjoni niexfa fil-plażma għal ċirkwiti integrati. Prekawzjonijiet għall-ħażna: Aħżen f'maħżen tal-gass frisk u ventilat li ma jaqbadx. Żomm 'il bogħod minn sorsi tan-nar u tas-sħana. It-temperatura tal-ħażna m'għandhiex taqbeż it-30 ° C. Għandu jinħażen separatament minn kombustibbli u ossidanti faċilment (kombustibbli), u tevita ħażna mħallta. Iż-żona tal-ħażna għandha tkun mgħammra b'tagħmir ta 'trattament ta' emerġenza ta 'tnixxija.
① Refriġerant:
It-tetrafluoromethane kultant jintuża bħala refriġerant b'temperatura baxxa.
② Inċiżjoni:
Jintuża fil-mikrofabbrikazzjoni elettronika waħdu jew flimkien ma 'ossiġnu bħala etchant fil-plażma għas-silikon, dijossidu tas-silikon u nitrur tas-silikon.
Prodott | Tetrafluworidu tal-KarbonjuCF4 | ||
Daqs tal-Pakkett | Ċilindru 40Ltr | Ċilindru 50Ltr | |
Mili Piż Nett/Cyl | 30Kgs | 38Kgs | |
QTY mgħobbija f'20'Kontenitur | 250 Ċil | 250 Ċil | |
Piż Nett Totali | 7.5 Tunnellati | 9.5 Tunnellati | |
Piż tat-tara taċ-ċilindru | 50Kgs | 55Kgs | |
Valv | CGA 580 |
①Purità għolja, l-aħħar faċilità;
②Manifattur taċ-ċertifikat ISO;
③Konsenja mgħaġġla;
④Sistema ta 'analiżi on-line għall-kontroll tal-kwalità f'kull pass;
⑤Rekwiżit għoli u proċess metikoluż għall-immaniġġjar taċ-ċilindru qabel il-mili;